半导体微纳制造技术及器件 《半导体微纳制造技术及器件》,作者:云峰,李强,王晓亮 著 出版社:科学出版社 ISBN:9787030661463。本书基于课题组的研究成果和研究方向,对目前主流采用的半导体微纳制造技术进行归纳,结合已得到验证的理论进行部分机理的论述,结合半导体微纳光电器件的发展现状阐述半导体微纳器件的应用及发展趋势。首先对半导体微纳器件的制造技术从图形化衬底技术、外延生长技术和刻蚀技术三方面进行系统的概述, 壹号书单 2020年09月01日 0 点赞 0 评论 35 浏览