集成电路与光刻机 《集成电路与光刻机》,作者:王向朝等 著 出版社:科学出版社 ISBN:9787030657923。光刻机是集成电路制造的核心装备，直接决定了集成电路的微细化水平。本书介绍了集成电路与光刻机的发展历程；重点介绍了光刻机整机、分系统与曝光光源的主要功能、基本结构、工作原理、关键技术等；简要介绍了计算光刻技术；最后介绍了光刻机成像质量的提升与光刻机整机、分系统的技术进步。 壹号书单 2020年08月01日 0 点赞 0 评论 62 浏览
