等离子体放电原理与材料处理
《等离子体放电原理与材料处理》,作者:(美)迈克尔·A.力伯曼(Michael A. Lieberman)，(美)阿伦·J.里登伯格(Allan J. Lichtenberg)著；蒲以康等译 出版社:科学出版社 ISBN:9787030186591。本书阐述了等离子体物理和化学的基本原理及工业等离子体材料处理的原理，并应用基本理论分析各种常见等离子体源的放电状态。书中还介绍半导体材料的刻蚀、薄膜沉
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