半导体的核反应方法掺杂
《半导体的核反应方法掺杂》,作者:(苏)斯米尔诺夫(Смирнов，Л，С)著；王正元，杜光庭译 出版社:科学出版社 ISBN:15031703。本书论述半导体的核反应方法掺杂的物理基础及其派生现象——辐照缺陷产生、聚集和退火等问题，并给出了有关掺杂工艺、对原材料的要求和被掺杂晶体性能等方面的数据． 本书可供从事固体辐照物理及半导体器件的辐照工艺研究的科技工作者，以及高等院校有关专业师生、研
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