微传感器与微执行器全书 《微传感器与微执行器全书》,作者:(美)格雷戈里 T. A.科瓦奇(Gregory T. A. Kovacs)著；张文栋等译 出版社:科学出版社 ISBN:7030105656。本书共分九章，涉及了MEMS技术的所有研究领域，畅述了各个领域中MEMS相关的基本原理，并在此基础上对典型器件和系统的设计与工艺进行了详细的介绍。 壹号书单 2003年03月01日 0 点赞 0 评论 38 浏览
