集成电路与光刻机 《集成电路与光刻机》,作者:王向朝等 著 出版社:科学出版社 ISBN:9787030657923。光刻机是集成电路制造的核心装备，直接决定了集成电路的微细化水平。本书介绍了集成电路与光刻机的发展历程；重点介绍了光刻机整机、分系统与曝光光源的主要功能、基本结构、工作原理、关键技术等；简要介绍了计算光刻技术；最后介绍了光刻机成像质量的提升与光刻机整机、分系统的技术进步。 壹号书单 2020年08月01日 0 点赞 0 评论 166 浏览
集成电路制造工艺技术体系 《集成电路制造工艺技术体系》,作者:严利人,周卫 出版社:科学出版社 ISBN:9787030501578。本书从三个方面系统地论述集成电路的制造技术。首先是制造对象，对工艺结构及结构所对应的电子器件特性进行深人的分析与揭示。其次是生产制造本身，详细讨论集成电路各单步作用的本质性特征及各不同工艺技术在成套流程中的作用，讨论高端制造的组织、调度和管理，工艺流程的监控，工艺效果分析与诊断等内容。最后是 壹号书单 2016年10月01日 0 点赞 0 评论 292 浏览
