薄膜
薄膜真空沉积中的等离子体探测方法与技术
《薄膜真空沉积中的等离子体探测方法与技术》,作者:陈吉堃 著 出版社:科学出版社 ISBN:9787030699152。低温等离子体被广泛应用于脉冲激光沉积、磁控溅射、等离子体增强化学气相沉积等现代半导体薄膜真空沉积技术中，并承担着薄膜组分物质输运、薄膜形核与生长动力学调控等关键性角色。由于等离子体性质是联系薄膜真空沉积条件与沉积性能的关键性纽带，以对等离子体性质的表征与探测为突破口并建立其与薄膜
Residual Stresses and Nanoindentation Testing of Films and Coatings（涂层薄膜应力及其纳米压痕检测）
《Residual Stresses and Nanoindentation Testing of Films and Coatings（涂层薄膜应力及其纳米压痕检测）》,作者:王海斗,朱丽娜,徐滨十著 出版社:科学出版社 ISBN:9787030567314。无
纳米结构的薄膜和涂层功能特性
《纳米结构的薄膜和涂层功能特性》,作者:Sam Zhang[著] 出版社:科学出版社 ISBN:9787030321367。本书首先介绍功能薄膜大尺度制作与加工的化学途径，纳米复合材料薄膜的制作与表征。其次讲解了低维纳米复合材料的制作及其应用，硅纳米晶的光学和光电子学特性。最后介绍了可控微/纳米结构薄膜和器件，微系统应用的薄膜形状记忆合金等内容。
薄膜体声波谐振器结构分析的二维振动理论
《薄膜体声波谐振器结构分析的二维振动理论》,作者:钱征华等 著 出版社:科学出版社 ISBN:9787030703569。薄膜体声波谐振器(FBAR)是一种利用压电效应制成的高精度频率基准器件，广泛应用于通信与传感领域。与传统谐振器相比，FBAR具有高频率、微尺寸、易加工、易集成等优势，更符合现代电子器件的发展趋势。然而，FBAR的结构振动分析涉及结构的复杂性、材料各向异性、高频率振动、多模态耦合
纳米薄膜分析基础 : [英文本] | Fundamentals of nanoscale film analysis影印版
《纳米薄膜分析基础 : [英文本] | Fundamentals of nanoscale film analysis影印版》,作者:T. L. Alford，L. C. Feldman，J. W. Mayer[编著] 出版社:科学出版社 ISBN:9787030222596。本书主要研究了材料表面及从表面到几十乃至100纳米深的结构与构成。主要讨论了用入射粒子和光子来量化结构并进行成分和深度
薄膜太阳能电池基础教程
《薄膜太阳能电池基础教程》,作者:侯海虹等 出版社:科学出版社 ISBN:9787030513076。本书在简要介绍太阳能电池发展现状及其基本工作原理的基础上，系统讲述非晶硅薄膜太阳能电池、砷化镓薄膜太阳能电池、铜铟镓硒薄膜太阳能电池、碲化镉薄膜太阳能电池以及有机聚合物薄膜太阳能电池等的材料结构特性、材料制备方法、电池类型结构、电池组件工艺过程，以及各类薄膜太阳能电池的基本特性及其未来发展趋势等。
微小世界里的新天地 : 神奇的薄膜
《微小世界里的新天地 : 神奇的薄膜》,作者:(日)麻莳立男著；谭毅， 史蹟译 出版社:科学出版社 ISBN:9787030319357。本书共12章，介绍了薄膜的生产、特性以及应用，内容包括制备薄膜的重要环境条件——真空、薄膜的制备、薄膜特有的性质、增强基板与薄膜结合的技术、等离子体在薄膜制备中的重要性等。
