离子束

电子束与离子束 : 译文集

《电子束与离子束 : 译文集》,作者:《电子束资料组》译 出版社:科学出版社 ISBN:1503151。本译文集系根据日本1969年11月出版的专辑《Electron & Ion Beam Technology》(电气试验所汇报,第33卷,第11号)一书译出。其中共收集十二篇文章,主要是介绍电子束设备的电子光学系统,直流高压电源,透镜系统,球面象差计算,微型加工,微型记录,电子束曝