机电系统
  1. 首页
  2. 机电系统

列表

微光机电系统

微光机电系统

《微光机电系统》,作者:(日)泽田廉士，(日)羽根一博，(日)日暮荣治著；李元燮译 出版社:科学出版社 ISBN:7030133137。本书第一篇介绍微光机电系统在各领域中的应用，即开关、反射镜阵列、显示器等；第二篇介绍微光机电系统中应用的光学原理，即光的反射与折射、干涉、衍射等；第三篇介绍材料、制造、封装等。
壹号书单 2005年01月01日
微机电系统(MEMS)制造技术

微机电系统(MEMS)制造技术

《微机电系统(MEMS)制造技术》,作者:苑伟政，乔大勇著 出版社:科学出版社 ISBN:9787030399748。本书共9章，分别介绍了MEMS制造技术发展历程和发展趋势、MEMS制造材料基础、MEMS制造中的沾污及洁净技术、MEMS制造中的图形转移技术、湿法腐蚀与干法刻蚀技术、氧化扩散与注入、薄膜制备技术、MEMS标准工艺和MEMS封装技术。
壹号书单 2014年03月01日