微机电系统(MEMS)制造技术
《微机电系统(MEMS)制造技术》,作者:苑伟政，乔大勇著 出版社:科学出版社 ISBN:9787030399748。本书共9章，分别介绍了MEMS制造技术发展历程和发展趋势、MEMS制造材料基础、MEMS制造中的沾污及洁净技术、MEMS制造中的图形转移技术、湿法腐蚀与干法刻蚀技术、氧化扩散与注入、薄膜制备技术、MEMS标准工艺和MEMS封装技术。
机电系统
光机电系统手册 : 技术和应用 : techniques and applications
《光机电系统手册 : 技术和应用 : techniques and applications》,作者:(韩)Hyungsuck Cho著；李杰[等]译 出版社:科学出版社 ISBN:9787030280206。本书涵盖光机电一体化系统的基本要素和应用，通过介绍光机电技术的定义、技术基础和应用领域，使读者综合了解光机电一体化系统及其在总体系统性能中的作用和协同效应等。
机电系统机内测试降虚警技术
《机电系统机内测试降虚警技术》,作者:邱静，刘冠军，吕克洪等著 出版社:科学出版社 ISBN:9787030256515。本书针对机电系统机内测试广泛存在的虚警问题进行了系统的论述：对虚警的产生原因、机理及表现形式进行深入分析和建模；根据机电系统监控与诊断的特点，从基于征兆的监控诊断虚警、基于模型的监控诊断虚警和时间应力导致的虚警等角度，详细阐述了虚警抑制和降虚警的原理、模型和技术方法；给出了降虚
网络化多机电系统协调控制理论及应用（英文版）
《网络化多机电系统协调控制理论及应用（英文版）》,作者:Gang Chen 出版社:科学出版社 ISBN:9787030494429。无
生物微机电系统 : [英文本] | BioMEMS影印版
《生物微机电系统 : [英文本] | BioMEMS影印版》,作者:Gerald A. Urban[编著] 出版社:科学出版社 ISBN:9787030188489。本书对生物微系统进行了简单的回顾，并把微纳米技术广泛渗透到生物和医学领域。
射频微机电系统的理论、设计、制备及应用
《射频微机电系统的理论、设计、制备及应用》,作者:张海霞，缪旻，东方明 出版社:科学出版社 ISBN:9787030389961。本书分析和阐述传输线、天线、可调电感、可变电容、开关、滤波器、移相器等核心器件的基本原理、主要类型、设计方法、加工技术、性能测试和典型应用等，为读者勾勒出射频微机电系统技术较为全面的技术基础、研究现状和发展趋势。
机电系统多领域集成设计
《机电系统多领域集成设计》,作者:郑晨 编著 出版社:科学出版社 ISBN:9787030697325。机电系统的设计过程，已经成为一个由多学科领域共同参与和开发的流程。尽管目前主流的机电系统集成设计方法已经针对机电系统的多领域集成设计展开了研究，但是集成设计过程中多领域设计人员协作和交互、多领域数据管理和集成等问题，已经成为目前机电系统集成设计亟待解决的问题。 本书从应用角度出发，聚焦于目前机
机电系统分析动力学及其应用
《机电系统分析动力学及其应用》,作者:温熙森等编著 出版社:科学出版社 ISBN:7030113039。本书主要从演绎分析的角度给出机电耦联系统的分析与应用方法，建立力学问题与电路、电磁场相结合的模型方法，研究机电耦联的相互作用和工程应用。
用于恶劣环境的碳化硅微机电系统
《用于恶劣环境的碳化硅微机电系统》,作者:Rebecca Cheung著；王晓浩 ，唐飞，王文弢译 出版社:科学出版社 ISBN:9787030268624。本书主要内容包括碳化硅微机电系统(SiCMEMS)介绍，用于碳化硅MEMS的沉积技术，近年来碳化硅的研究相关进展，碳化硅的干法腐蚀，碳化硅MEMS的设计、性能和应用等。
