《化学传感器 : 科学家与工程师入门 : an introduction for scientists and engineers : 英文版 | Chemical sensors : an introduction for scientists and engineers影印版》,作者:(德)Peter Grundler[编著] 出版社:科学出版社 ISBN:9787030211903。本书
《微传感器与微执行器全书》,作者:(美)格雷戈里 T. A.科瓦奇(Gregory T. A. Kovacs)著;张文栋等译 出版社:科学出版社 ISBN:7030105656。本书共分九章,涉及了MEMS技术的所有研究领域,畅述了各个领域中MEMS相关的基本原理,并在此基础上对典型器件和系统的设计与工艺进行了详细的介绍。