集成电路与等离子体装备
《集成电路与等离子体装备》,作者:赵晋荣等 编著 出版社:科学出版社 ISBN:9787030775467。《集成电路与等离子体装备》主要介绍了集成电路中与等离子体设备相关的内容，具体包括集成电路简史、分类和发展方向以及面临的挑战，气体放电的基本原理和典型应用、等离子体刻蚀工艺与设备、等离子体表面处理技术与设备、物理气相沉积设备与工艺、等离子体增强化学气相沉积工艺与设备、高密度等离子体
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