MEMS/NEMS谐振器技术
《MEMS/NEMS谐振器技术》,作者:张文明，胡开明 出版社:科学出版社 ISBN:9787030757197。《MEMS/NEMS谐振器技术》主要介绍微/纳机电系统(MEMS/NEMS)谐振器动力学设计理论、分析方法及应用技术。《MEMS/NEMS谐振器技术》共9章，主要内容包括：MEMS/NEMS技术基础和MEMS/NEMS谐振器技术的发展历程与发展趋势；谐振器的工作原理、谐振结构设计
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