isbn7030133137

微光机电系统

《微光机电系统》,作者:(日)泽田廉士,(日)羽根一博,(日)日暮荣治著;李元燮译 出版社:科学出版社 ISBN:7030133137。本书第一篇介绍微光机电系统在各领域中的应用,即开关、反射镜阵列、显示器等;第二篇介绍微光机电系统中应用的光学原理,即光的反射与折射、干涉、衍射等;第三篇介绍材料、制造、封装等。