isbn7030123085

集成光路

《集成光路》,作者:(日)西原浩等著;梁瑞林译 出版社:科学出版社 ISBN:7030123085。本书系统地介绍了光波导及其调制理论、光波导制作技术及检测技术、集成电路的精细加工技术等,并收录了集成光路实例。