薄膜的基本技术 《薄膜的基本技术》,作者:(日)金原粲著；杨希光译 出版社:科学出版社 ISBN:15031426。全书共分七章，比较通俗地介绍了薄膜的基本制作技术，重点阐述制作薄膜所需要的各种真空设备的基础知识、真空蒸镀方法、溅射方法、膜厚测量及制造薄膜有关的其他技术．书中附有许多图表，书末有两个附录．这是一本比较系统而又实用的薄膜工艺技术参考书． 本书可供光学、电学、磁学和 壹号书单 1982年08月01日 0 点赞 0 评论 15 浏览
