电子材料制造技术实验教程
《电子材料制造技术实验教程》,作者:贾利军,韦敏,赵晓辉主编 出版社:科学出版社 ISBN:9787030576507。全书分上、下两篇，上篇为电子薄膜制备与测试分析，介绍真空技术、镀膜工艺、薄膜生长及其表征技术等基础知识，具体阐述了直流磁控溅射镀膜、真空热阻蒸发制膜、电子束蒸发制膜、射频磁控溅射制膜、薄膜的表征及分析等六个基础实验的内容，并设计了基于薄膜材料的热电偶制作与标定、类电容器结构薄膜器
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