集成光电子器件制造学教学案例
《集成光电子器件制造学教学案例》,作者:郑煜,段吉安 编著 出版社:科学出版社 ISBN:9787030774866。集成光电子器件以集成光电子技术为基础，采用与集成电路（Integrated Circuit，IC）制造工艺完全兼容的工艺制造而成，具有光处理与传输功能的器件，是实现大容量、高速率信息传输的关键。“集成光电子器件制造学”是介绍支撑及引导光电子发展的基础学科，《集成光电子器件制造学教
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