微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用
《微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用》,作者:顾长志等编著 出版社:科学出版社 ISBN:9787030378255。本书简述微纳加工的主要方法及纳米材料与纳米器件研究中的应用，注重理论与实践的结合，包括光学曝光、电子束曝光、聚焦离子束加工、激光加工、纳米压印，刻蚀技术、薄膜技术等研究领域的应用，重点介绍各种微纳加工方法的产生根源与最新发展的趋势。
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