射频等离子体物理基础
《射频等离子体物理基础》,作者:王友年,宋远红,张钰如 编著 出版社:科学出版社 ISBN:9787030779922。《射频等离子体物理基础》较为全面、系统地介绍了低气压非热平衡等离子体的物理基础和射频等离子体特性。《射频等离子体物理基础》分两大部分，其中第一部分为第1~8章，主要介绍低温等离子体的物理模型，包括概述、碰撞模型、粒子模型、动理学模型、流体力学模型、稳态输运模型、射频鞘层模型、整体
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