超大集成电路技术 : 工艺评价 《超大集成电路技术 : 工艺评价》,作者:(日)西泽润一编；潘桂堂，石忠诚译 出版社:科学出版社 ISBN:15031719。本书以半导体集成电路制作工艺的监测、检查及反馈为主要内容，深入探讨了工艺技术与物理化学的联系．全书共十一章，分别介绍了集成电路生产中的评价技术和控制方法、应用气相生长进行器件制作的工艺过程中控制和评价，以及应用最新的表面研究方法进行的工艺评价．同时，还介绍了干法工艺的监控法 壹号书单 1986年05月01日 0 点赞 0 评论 34 浏览
