微机电系统(MEMS)制造技术
《微机电系统(MEMS)制造技术》,作者:苑伟政，乔大勇著 出版社:科学出版社 ISBN:9787030399748。本书共9章，分别介绍了MEMS制造技术发展历程和发展趋势、MEMS制造材料基础、MEMS制造中的沾污及洁净技术、MEMS制造中的图形转移技术、湿法腐蚀与干法刻蚀技术、氧化扩散与注入、薄膜制备技术、MEMS标准工艺和MEMS封装技术。
机电系统
光机电系统手册 : 技术和应用 : techniques and applications
《光机电系统手册 : 技术和应用 : techniques and applications》,作者:(韩)Hyungsuck Cho著；李杰[等]译 出版社:科学出版社 ISBN:9787030280206。本书涵盖光机电一体化系统的基本要素和应用，通过介绍光机电技术的定义、技术基础和应用领域，使读者综合了解光机电一体化系统及其在总体系统性能中的作用和协同效应等。
生物微机电系统 : [英文本] | BioMEMS影印版
《生物微机电系统 : [英文本] | BioMEMS影印版》,作者:Gerald A. Urban[编著] 出版社:科学出版社 ISBN:9787030188489。本书对生物微系统进行了简单的回顾，并把微纳米技术广泛渗透到生物和医学领域。
