戚林山节

半导体制备与应用

《半导体制备与应用》,作者:戚林山节译 出版社:科学出版社 ISBN:1503111。本集是从“电子材料手册”(日文)一书中摘译下来的三章:半导体制备(介绍了不同的半导体单晶,由于材料不同,条件不同,所采用的制备方法也不同)、半导体的加工处理、及半导体装置(介绍了多种组件、器件、特种器件及集成电路的应用),可供有关的工人、技术员、生产部门及科研、设计单位参考。