微纳制造 : [英文本] | Micro and nanomanufacturing影印版
《微纳制造 : [英文本] | Micro and nanomanufacturing影印版》,作者:Mark J. Jackson[编著] 出版社:科学出版社 ISBN:9787030182432。本书全面阐述了微纳器件的设计和制造方面的知识,以及在设计和制造时所要考虑的诸多因素。书中涵盖了多种制造技术,包括微纳制造技术、体和表面微加工技术、LiGA技术、薄膜沉积技术、纳加工技术等。
