半导体的检测与分析 《半导体的检测与分析》,作者:中国科学院半导体研究所理化分析中心研究室 出版社:科学出版社 ISBN:130312556。本书比较全面地介绍半导体科研、生产中最常用的各种检测和分析方法，介绍了各种方法的原理、实验技术和在半导体中的具体应用．全书共分十五章，包括半导体单晶定向，半导体晶体缺陷的金相观察，X射线形貌技术，离子束分析，离子探针分析，俄歇电子能谱，扫描电子显微镜，电子探针，透射电子显微镜， 壹号书单 1984年05月01日 0 点赞 0 评论 25 浏览
