模块三　扩散制结

3.1　扩散制结原理 　3.1.1　掺杂与p-n结的形成 　3.1.2　扩散的基本原理 　3.1.3　扩散的方式 3.2　扩散制结工艺流程 　3.2.1　企业扩散制结工艺流程 　3.2.2　扩散制结影响因素分析 　3.2.3　扩散后检测 3.3　扩散制结操作与监控 　3.3.1　扩散制结工艺步骤 　3.3.2　扩散设备 　3.3.3　扩散车间生产作业规范 　3.3.4　不良片与返工作业 习　题